确保缺陷检测设备的准确性和可靠性
MSP 的 SPx 校准标准在保持测试设备的准确性和可靠性方面发挥着关键作用，这对于在成熟的半导体制造节点中保持高产量和高质量至关重要。MSP 对卓越的承诺体现在其全面的 NIST 可追溯 SPx 校准标准系列中，这些标准由对制造流程和控制的细致记录、使用 SPx 的测试报告和其他认证保证提供支持。
量身定制，满足您的校准需求
MSP 的 SPx 校准标准产品组合包括单独的全（毯覆）沉积晶圆（每个晶圆上具有单*粒子尺寸）、Cal-Dep? 全沉积晶圆组以及多点晶圆。
我们提供多种运输 SPx 校准标准的方法，以满足不同客户的需求。MSP 总裁 Darrick Niccum 表示：“此项服务可满足客户提出的各种校准要求，以确保他们能够选择*适合其需求和应用的晶圆组。”
优化产量和晶圆质量
MSP 结合行业**的设备知识和粒子沉积专业知识，为关键的表面检测应用提供具有*窄粒子分布和*高粒度精度的标准。这确保 MSP 的客户获得满足其苛刻要求的*流标准。
使用 MSP 的 SPx 校准标准进行准确可靠的晶圆表面缺陷检测，从而优化产量和质量。如需更多信息，请访问tsi.com/SPx或联系我们的销售团队。